設(shè)備型號(hào)：DSI-S-DB661
應(yīng)用范圍：TB/DB制程，臨時(shí)拆鍵合
主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
1、全自動(dòng)兼容8inch、12inch片生產(chǎn)，帶條碼自動(dòng)掃描系統(tǒng)
2、配合特殊剝離涂層，有效減少材料損傷，良品率高
3、采用先進(jìn)的光斑整形技術(shù)，光斑均勻分布
4、擁有光斑質(zhì)量監(jiān)控與反饋系統(tǒng)，保證光斑的穩(wěn)定性
5、攜帶激光加工能量監(jiān)控與自動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)，保證能量的穩(wěn)定性
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 8inch、12inch |
| 加工速度 | 1000mm/s | |
| 加工精度 | ±1μm | |
| 平臺(tái)參數(shù) | 行程300mm×300mm 重復(fù)定位精度±0.001mm | |
| 激光器參數(shù) | 紫外 | |
| 稼動(dòng)率 | >0.98 | |
| 重大故障間隙時(shí)間 | ＞1000H | |
| 良率 | ≥99.5% |
加工效果：
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