應用范圍：Micro LED巨量轉(zhuǎn)移設備是通過精確定位系統(tǒng)來實現(xiàn)芯片巨量轉(zhuǎn)移，可用于將玻璃暫態(tài)基板芯片精確轉(zhuǎn)移至下層基板，也可延伸用于Mini LED巨量轉(zhuǎn)移系統(tǒng)中
主要特點：
1、轉(zhuǎn)移效果良好，轉(zhuǎn)移過程對芯片無損傷
2、擁有高精度對位系統(tǒng)， Micro LED轉(zhuǎn)移落點精準，位置精度達到±1μm
3、轉(zhuǎn)移效率可達2kk/h-100kk/h
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 兼容種類 | Carrier：圓片4 Inch、 6 Inch帶平邊 |
| Substrate | ≤470*350 | |
| 對位精度 | 可精確對位，對位誤差≤1μm，對位角度誤差≤ 6arcsec | |
| 轉(zhuǎn)移良率 | 轉(zhuǎn)移良率可達99.99% | |
| 轉(zhuǎn)移效率 | 轉(zhuǎn)移效率可達2kk/h-100kk/h |
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